Охлаждение мощных полупроводниковых модулей: роль медных подложек DBC и теплоотводов

Управление тепловыми потоками в силовой электронике

Современные силовые полупроводниковые приборы (IGBT-транзисторы, SiC-диоды, тиристоры) работают при плотностях мощности, превышающих сотни ватт на квадратный сантиметр площади кристалла. Предельная температура p-n перехода кристалла обычно ограничена значением 150–175 градусов Цельсия. Для предотвращения теплового пробоя необходимо обеспечить минимальное общее термическое сопротивление на пути от полупроводника к окружающей среде.

Цепочка теплопередачи силового модуля состоит из нескольких слоев с различной теплопроводностью: кристалл — припой — керамическая подложка — основание модуля (baseplate) — термопаста — радиатор. Медь играет определяющую роль в этой цепочке благодаря коэффициенту теплопроводности около 390 Вт/(м·К).

Оценку эффективности рассеивания тепла металлическими элементами силовых модулей можно провести на основе данных из анализа теплопроводности меди в сравнении с другими конструкционными материалами.

Конструкция подложек DBC (Direct Bonded Copper)

DBC-подложка представляет собой пластину из керамики (оксид алюминия Al2O3 или нитрид алюминия AlN), с обеих сторон которой методом прямого высокотемпературного спекания нанесены медные пластины толщиной от 0,3 до 0,6 мм.

Функции медных слоев в DBC:

  • Верхний слой: формирует топологию электрических соединений силовых ключей методом химического травления;
  • Керамический слой: обеспечивает электрическую изоляцию силовых цепей от корпуса (напряжение пробоя до 4–6 кВ);
  • Нижний слой: выравнивает механические напряжения, возникающие из-за разницы коэффициентов теплового расширения (КТР), и распределяет тепловой поток по площади.

Сравнительные характеристики материалов оснований модулей

Материал базового основания силового модуля должен сочетать высокую теплопроводность и КТР, близкий к КТР керамики и кремния (3–7 ppm/K), для предотвращения усталостного разрушения паяных слоев при циклических нагревах.

Материал основания

Теплопроводность (Вт/(м·К))

КТР (10^-6 / K)

Плотность (г/куб. см)

Чистая медь (Cu-ETP / C11000)

390

16,5

8,9

Бескислородная медь (Cu-OF / C10200)

395

16,5

8,9

Композит AlSiC (алюминий-кремний-углерод)

170–200

6,5–8,5

3,0

Алюминий (A6063)

200

23,0

2,7

Несмотря на более высокий КТР по сравнению с композитами, чистая медь остается самым распространенным материалом для теплоотводящих оснований из-за наименьшего термического сопротивления и доступности технологической обработки.

Оптимизация внешних медных радиаторов

Для отвода тепла от основания модуля на радиатор применяются эффективные методы снижения контактного термического сопротивления:

  1. Применение фазопереходных материалов (PCM) вместо термопасты. PCM-материалы размягчаются при температуре выше 45 градусов Цельсия, полностью заполняя микронеровности без эффекта вытеснения (pump-out effect).
  2. Использование жидкостного охлаждения с медными штыревыми радиаторами (Pin-Fin). Медное основание модуля изготавливается с игольчатым профилем, который погружается непосредственно в поток хладагента (пропиленгликоль/вода). Это исключает один слой термопасты и снижает термическое сопротивление на 30 процентов.
Понравилась статья? Поделиться с друзьями: